近日,中微公司屡获大单。据官网消息,中微公司已中标华虹半导体(无锡)有限公司12台刻蚀机,其中包括3台钝化膜等离子体刻蚀机、7台氧化膜等离子体刻蚀机、2台氮化硅等离子体刻蚀机。
此前几天,中微公司宣布,公司全资子公司南昌中微半导体设备有限公司接到来自江西兆驰半导体有限公司52腔Prismo Unimax®MOCVD设备采购订单。目前,双方已经进行了签约仪式。
中微公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售,产品主要包括CCP刻蚀设备、ICP刻蚀设备、MOCVD设备等。
财报显示,公司2021年营业收入达31.08亿元,同比增长36.7%,归母净利润达10.11亿元,同比增长105.5%,其中,刻蚀设备收入为20.04亿元,较2020年增长约55.44%,MOCVD设备收入为5.03亿元,较2020年增长约1.53%。
中微公司虽然在细分领域已经做到了龙头位置,但在资本市场表现并不稳定。自2019年上市以来,中微公司股价一路上演过山车行情。
2020年1月17日,中微公司大涨14.62%,报收196.01元,总市值首度突破千亿大关,达1048亿元,其对应的PE也超过了千倍,在科创板创造了历史性的一幕。但是,这种状况并没有维持多久。
截至4月11日收盘,中微公司报价111.50元/股,下跌4.04%,市值687.1亿元。
1、刻蚀设备翘楚,82亿定增扩产能
晶圆制造中有三个核心工艺,分别是薄膜沉积、光刻和刻蚀。其中,刻蚀设备是晶圆制造设备中价值量最大的设备。刻蚀主要分为湿法工艺和干法工艺,干法是主流。干法工艺中最主流的是等离子干法刻蚀,又可以分为电容性等离子刻蚀(CCP)和电感性等离子干法刻蚀(ICP)。
中微公司于2007年推出CCP刻蚀设备,2012年推出ICP刻蚀设备。近年来,公司的刻蚀设备在国内主要客户端市场占有率不断提升。
在逻辑集成电路制造环节,公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5纳米等先进的芯片生产线上;同时,公司根据先进集成电路厂商的需求,已开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工,并已获得行业领先客户的批量订单。
目前,中微公司的刻蚀设备已经进入台积电、联电、格罗方德、SK海力士和中芯国际等知名晶圆厂。据悉,公司正在配合客户需求,开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺,能够涵盖5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。
虽然中微公司技术实力在国内处于领先地位,但受限于产能情况使得其潜力并未得到全部释放。
去年,中微公司完成新一轮定增,募资总额82.1亿元,其中,国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司获配25亿元。根据公告,本次募集资金投资项目中的产业化建设项目正在顺利推进中。
其中,中微临港产业化基地项目已经完成结构封顶;南昌中微半导体设备有限公司生产基地项目已完成厂内主要道路施工,各主要单体建筑均已封顶;中微临港总部和研发基地项目正在进行施工前临设搭建、机械进场组装等准备工作。
据悉,中微公司新投资项目将在2023年逐步进入试运行阶段,在2025年项目完全建成后其总体产能将达到目前的4-5倍。
2、由“小而精”走向“大而专”
半导体设备厂商分为两种典型的商业模式:一种是“平台型”,追求大而全的产品布局,多类设备均在市场上占据一席之地;另一种是“专攻型”,业务聚焦在光刻机单一产品线上,做精做强。
“做设备很难靠一个设备从头做到尾,国际设备商刚开始是刻蚀设备,后逐渐拓展种类,交付能力和抵抗周期能力加强。几家设备商共同特点,刻蚀设备起家,刻蚀设备相对难度大,后续拓展薄膜设备等有一定相关性。”中微公司在接受机构调研时表示:
中微尽管体量还不是那么高,但设备和产品竞争力具备一定实力,拓展后续会加速:一类是自身研发,开发设备;另一类是外延式发展,收购或合起来做,合资公司、兼并收购。
据中微公司董事长兼总经理尹志尧此前表示:“公司将在适当时机,通过投资、并购等外延式生长途径,扩大产品和市场覆盖,力争在未来十年内,发展成为在规模上和市场占有率上国际一流的半导体设备公司。”
目前,中微公司已形成三个维度扩展未来公司业务的布局规划:
第一个维度是从等离子体刻蚀设备,扩展到化学薄膜设备,和刻蚀及薄膜有关的测试等关键设备;
第二个维度是扩展在泛半导体设备领域的产品,从已经开发的用于制造MEMS和CIS影像感测器的刻蚀设备、制造蓝光LED的MOCVD设备,扩展到更多的微观器件加工设备,以及制造深紫外LED、Mini-LED、Micro-LED等微观器件的设备产品;
第三个维度是探索核心技术在环境保护、工业互联网等新的应用。
“我们的目标是建立以中国为基地,面向世界的公司。”截止2021年底,中微公司员工人数达1048人,大约1/4是外籍员工。
从股权结构看,中微公司没有实际控制人,国资委和大基金分别持有公司15.64%和19.12%的股权,嘉兴智微、中微亚洲、Bootes和Grenade为员工持股平台,合计持有公司12.66%的股权。